年度	2007
全部作者	黃仁清、詹益峰、陳銘震
論文名稱	電解液配方對純銅電解拋光平坦化之影響
會議名稱	第十一屆奈米工程暨微系統技術研討會
地點	台灣Taiwan - 台中
著作人數	1