年度 | 2004 |
---|---|
論文名稱 | Nano mechanical properties evaluation of R.F. magnetron sputtered chromium nitride thin film |
期刊名稱 | Tamkang Journal of Science and Engineering |
卷數 | 7 |
期數 | 4 |
論文類型 | EI |
發表日期 | 2004-12-01 |
年度 | 2004 |
---|---|
論文名稱 | Nano mechanical properties evaluation of R.F. magnetron sputtered chromium nitride thin film |
期刊名稱 | Tamkang Journal of Science and Engineering |
卷數 | 7 |
期數 | 4 |
論文類型 | EI |
發表日期 | 2004-12-01 |