| 年度 | 2007 |
|---|---|
| 全部作者 | Zone-Ching Lin. Jen-Ching Huang and Bo-Jhan Zeng |
| 論文名稱 | The Analysis on the offset error of cross-section contour by using the simulated measurement model of atomic force microscopy |
| 期刊名稱 | Journal of the Chinese Society of Mechanical Engineers |
| 卷數 | 28 |
| 期數 | 1 |
| 論文類型 | EI |
| 發表日期 | 2007-01-01 |